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技術(shù)文章

Technical articles

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  • 202511-17
    高功率高穩(wěn)定極紫外高次諧波光源

    封面展示了基于高次諧波(HHG)技術(shù)的13.5nm極紫外光源及其在芯片缺陷檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用。通過(guò)緊聚焦飛秒激光脈沖在稀有氣體靶中激發(fā)產(chǎn)生的高次諧波,可獲得低成本、小型化的相干極紫外(EUV)和軟X射線激光光源。得益于極寬的光譜范圍和飛秒至阿秒級(jí)的脈沖寬度,HHG光源可用于納米級(jí)空間尺度和阿秒級(jí)時(shí)間尺度上的各類原子、分子與材料的超快動(dòng)力學(xué)研究。一、研究背景微觀尺度超快動(dòng)力學(xué)研究需要短波長(zhǎng)、短脈沖和高相干度的激光光源,這正是高次諧波(HHG)光源的優(yōu)勢(shì)。此外,許多重要元素(如Cr、...

  • 202511-14
    “桌面型”相干極紫外光源及應(yīng)用

    一、背景介紹2023年,諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)表彰了極紫外高次諧波產(chǎn)生的實(shí)驗(yàn)技術(shù),實(shí)現(xiàn)利用阿秒(1018分之一秒)量級(jí)時(shí)間寬度的極紫外激光脈沖研究各類物質(zhì)中的電子運(yùn)動(dòng),具有劃時(shí)代的科學(xué)意義。除了前沿科學(xué)應(yīng)用,高次諧波作為一種時(shí)空相干、定向性好、發(fā)射亮度高、寬光譜范圍便于調(diào)諧的桌面型極紫外光源,相比等離子體光源和同步輻射光源具有明顯的成本優(yōu)勢(shì)。因此,高次諧波光源有望在材料譜學(xué)分析、生物細(xì)胞和化學(xué)分子成像、半導(dǎo)體芯片量測(cè)檢測(cè)等領(lǐng)域取得廣泛應(yīng)用。極紫外高次諧波光源的工業(yè)應(yīng)用需要在單位時(shí)間內(nèi)...

  • 202511-12
    多環(huán)形垂直腔面發(fā)射激光器VCSEL實(shí)現(xiàn)“雙高突破”

    封面展示了具有多環(huán)形腔結(jié)構(gòu)的大孔徑垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)。通過(guò)將注入電流的區(qū)域分割成多個(gè)區(qū)域,可實(shí)現(xiàn)載流子分布的均勻化,進(jìn)而有效抑制空間燒孔效應(yīng)。該器件的近場(chǎng)分布均勻且明亮,遠(yuǎn)場(chǎng)呈高斯分布,滿足了光通信、3D傳感、激光雷達(dá)等領(lǐng)域?qū)Ω吖β矢吖馐|(zhì)量半導(dǎo)體激光源的需求,進(jìn)一步拓展了VCSEL在智能設(shè)備領(lǐng)域中的應(yīng)用范圍。此外,多環(huán)形腔結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)無(wú)需引入微透鏡、表面光柵等外部結(jié)構(gòu),簡(jiǎn)化了制備過(guò)程,為實(shí)現(xiàn)高光束質(zhì)量高功率的VCSEL提供了新的技術(shù)路徑。一研究背景垂直腔面發(fā)射激...

  • 202511-10
  • 202511-7
    高功率中紅外光纖飛秒光學(xué)頻率梳

    研究背景飛秒光頻梳在時(shí)域上由相同間距的超短脈沖串構(gòu)成,頻域上由一系列離散、等間距且具有穩(wěn)定相位關(guān)系的頻率分量組成,可以實(shí)現(xiàn)原子鐘精度的絕對(duì)頻率測(cè)量,是天然的時(shí)頻基準(zhǔn)。飛秒光頻梳在精密測(cè)量、光譜學(xué)、冷原子等相關(guān)領(lǐng)域中有著重要的應(yīng)用意義。目前,在中紅外波段,飛秒光頻梳為精密光譜學(xué)帶來(lái)一套新的工具,可用于二氧化碳、氨氣等特殊氣體檢測(cè)。此外,對(duì)分子結(jié)構(gòu)和動(dòng)力學(xué)的透徹理解通常涉及到寬頻率范圍內(nèi)的詳細(xì)光譜分析。借助中紅外光頻梳,也可以在大動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)精確研究分子樣品的組成變化。創(chuàng)新工作天津...

  • 202511-6
    阿秒寬度的超短脈沖對(duì)其進(jìn)行測(cè)量和研究

    一、研究背景超短脈沖的出現(xiàn),為人們以高時(shí)間分辨研究微觀超快動(dòng)力學(xué)過(guò)程提供了可能,推動(dòng)了人們對(duì)光與物質(zhì)相互作用的理解。微觀范疇內(nèi),分子轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程時(shí)間尺度在皮秒量級(jí),分子振動(dòng)過(guò)程時(shí)間尺度在飛秒量級(jí)。而原子、分子、固體中電子運(yùn)動(dòng)時(shí)間尺度為阿秒量級(jí),需要阿秒寬度的超短脈沖對(duì)其進(jìn)行測(cè)量和研究。2001年,P.Agostini小組產(chǎn)生了脈沖寬度250as的13~19階高次諧波的阿秒脈沖串。同年,F(xiàn).Krausz小組得到了脈寬650as的單個(gè)阿秒脈沖,標(biāo)志著超快研究進(jìn)入阿秒領(lǐng)域。其后20多年...

  • 202511-4
    突破高分辨率光學(xué)技術(shù)穿透深度限制

    一、背景介紹光學(xué)技術(shù)具有非電離輻射、高分辨率、高對(duì)比度和對(duì)生物組織異變高度靈敏等特性,在生物醫(yī)學(xué)中扮演著越來(lái)越重要的角色,非常適用于生物組織的研究,包括成像、傳感、治療、刺激以及控制等等。然而由于生物組中光學(xué)折射率分布不均,光在生物組織中的傳播會(huì)受到很強(qiáng)的散射影響,導(dǎo)致了純光學(xué)技術(shù)的穿透深度和空間分辨率“魚(yú)和熊掌不可兼得”;高分辨率光學(xué)成像應(yīng)用僅限于樣品淺表層,當(dāng)成像深度增加時(shí)分辨率急劇下降。如何實(shí)現(xiàn)光在深層生物組織里的高分辨率成像或應(yīng)用,是人們期盼已久的目標(biāo)。香港理工大學(xué)賴...

  • 202511-3
    激光誘導(dǎo)放電等離子體極紫外光源

    一、研究背景隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,光刻分辨率限制了極大規(guī)模集成電路制造集成度的進(jìn)一步提升。在采用193nm光刻技術(shù)實(shí)現(xiàn)32nm甚至22nm節(jié)點(diǎn)后,光刻技術(shù)的發(fā)展遇到了瓶頸。為了進(jìn)一步減小芯片的特征尺寸,采用更短波長(zhǎng)的極紫外(EUV)光刻技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。EUV光刻目前采用13.5nm(2%帶寬)波長(zhǎng)極紫外光作為曝光光源,這是綜合考慮靶材利用率、光譜純度、極紫外轉(zhuǎn)化效率等因素最終選定的波長(zhǎng)。其中,錫已經(jīng)成為EUV光源最主要的靶材。激光等離子體(LPP)和激光誘導(dǎo)放電等離子體(LDP...

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